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高纯气体管路的设计要点

2019-12-31 20:40:05 浏览次数:
1、对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口。

 

2、管路设计要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高。通常较合理的设计流速为20ml/s,可燃气体小于10ml/s,独行/腐蚀性气体小于8ml/s,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4~3/8。

 

3、根据用气设备的分布,高纯气体的官网不宜过大或者过长。宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

 

4、管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管。

 

5、对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

 

6、为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

 

7、在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端勇气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。

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